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石墨匣缽坩堝的燒制工藝流程首要包含以下要害階段:
質(zhì)料選擇與預(yù)處理:
    質(zhì)料選擇:一般選用高純度天然石墨或人工石墨,純度一般需到達(dá)99.9%以上,以保證其高導(dǎo)熱性和耐高溫特性。
    預(yù)處理:質(zhì)料需經(jīng)過篩分、磁選等手法去除雜質(zhì),并進(jìn)行粒度分級(jí),以保證質(zhì)料的均質(zhì)化。
配料與混合:
    配料:依據(jù)坩堝的配方要求,將石墨粉、粘土、硅石等質(zhì)料按一定比例進(jìn)行配料。
    混合:將配好的質(zhì)料放入混合機(jī)中進(jìn)行均勻混合,保證各種質(zhì)料充沛渙散和結(jié)合。
成型:
    成型辦法:常見的成型辦法包含等靜壓成型、熱壓成型和冷壓-燒結(jié)成型。等靜壓成型適用于雜亂形狀制品的生產(chǎn),熱壓成型適用于高精度半導(dǎo)體坩堝制作,而冷壓-燒結(jié)成型則多用于民用范疇。
    成型設(shè)備:運(yùn)用坩堝成型液壓機(jī)等設(shè)備進(jìn)行限制,模具設(shè)計(jì)成雙工位全自動(dòng)形式,可進(jìn)步限制效率。
枯燥:
    成型后的坩堝需求放入烘箱中進(jìn)行枯燥,以去除水分和揮發(fā)物,防止在焙燒過程中產(chǎn)生裂紋或脫落。
焙燒(燒結(jié)):
    預(yù)熱階段:溫度控制在100℃至300℃之間,首要是為了去除殘留水分,防止坩堝裂紋和爆裂。
    低溫?zé)呻A段:溫度在400℃至600℃之間,坩堝開端燒結(jié),結(jié)合水逐步分解并被去除。
    中溫?zé)呻A段:溫度在700℃至900℃之間,坩堝中的無(wú)定形Al2O2開端轉(zhuǎn)化為結(jié)晶Al2O2,外釉層開端熔化。
    高溫?zé)呻A段:溫度在1000℃至1200℃之間,坩堝中的粘土逐步轉(zhuǎn)變?yōu)槟獊?lái)石,釉層完全熔化,形成玻璃狀釉膜。
    燒結(jié)氣氛:一般在氬氣等維護(hù)氣氛下進(jìn)行,以防止氧化,并促進(jìn)殘余揮發(fā)物的脫除。
修整與加工:
    修整:焙燒后的坩堝需求進(jìn)行修整,去除毛刺、裂紋等缺點(diǎn),使其外形漂亮、尺度準(zhǔn)確。
    精細(xì)加工:運(yùn)用數(shù)控機(jī)床進(jìn)行尺度校準(zhǔn)和外表拋光,以進(jìn)步外表質(zhì)量和精度。
外表處理:
    抗氧化涂層:噴涂碳化硅或氮化硼涂層,以進(jìn)步坩堝的抗氧化性能。
質(zhì)量查驗(yàn):
    對(duì)修整后的坩堝進(jìn)行質(zhì)量查驗(yàn),包含外觀質(zhì)量、尺度精度、密度、氣孔率等目標(biāo)。查驗(yàn)合格的坩堝方可出廠出售。
包裝與運(yùn)送:
    選用防震氣墊與真空密封技能進(jìn)行包裝,防止運(yùn)送過程中的結(jié)構(gòu)損傷。

石墨匣缽坩堝

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